TSS-3000 EFEM

EFEM是一個(gè)晶圓前端傳輸設(shè)備，是一個(gè)與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng)，

可以手動(dòng)或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。